特許

J-GLOBAL ID：200903033988995712

ワイヤーボンディング装置

発明者： 四元 隆広 ,  海老原 正
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-250821
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106366
出願日： 1993年10月06日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 キャピラリーのアームへの取り付けを高精度で、しかも容易に行う。【構成】 ボンディングアーム20Aにキャピラリー10の高さ方向の位置決め手段である鍔6を形成し、この鍔6の下面にキャピラリーの高さ基準面14を当接させて、そのキャピラリーをそのボンディングアームに固定する構造を採っている。【効果】 キャピラリーのアームへの取り付け作業は、両者を互いに当接させるだけで、キャピラリーの高さ位置を精度良く出せ、しかもその取付け作業を極めて容易に、そして速やかに行うことができる。

請求項（抜粋）：

ボンディングアームにキャピラリーの高さ方向の位置決め手段を形成し、この位置決め手段にキャピラリーの高さ基準部を当接させて、そのキャピラリーを前記ボンディングアームに固定してなるワイヤーボンディング装置。