特許

J-GLOBAL ID：200903033992306379

物体の表面処理方法、表面処理装置および表面処理された光学部材

発明者： 世田 博國 ,  蛭田 八代栄 ,  小田切 耀 ,  加藤 宏太郎 ,  新野 一司 ,  木村 文人
出願人/特許権者： 株式会社シンクロン ,  株式会社那須ニコン ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 臼村 文男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-297975
公開番号（公開出願番号）：特開平6-122778
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【構成】 真空槽41内に光学部材等の被処理物体53を入れ、真空排気する。ヒータ13で容器15内のフルオロアルキルシラン等の低表面エネルギー性物質15を加熱し、バルブ21を開けて低表面エネルギー性物質15を真空槽41内に導き、放電電極45により放電を起こし、プラズマ雰囲気下に被処理物体53を低表面エネルギー性物質15で表面処理する。【効果】 メガネレンズ等の光学部材などを、溶剤を使わない乾式法で表面処理することにより、物体表面に耐久性に優れた高い撥水性を付与できる。

請求項（抜粋）：

低表面エネルギー性物質を気化せしめ、被処理物体が収納された減圧処理室内に導入し、プラズマ雰囲気下において被処理物体の表面に気化した低表面エネルギー性物質を接触せしめ、被処理物体の表面上に低表面エネルギー性被膜を形成することを特徴とする物体の表面処理方法。

IPC (7件)：

C08J 7/04 ,  B01J 19/08 ,  C03C 17/28 ,  C03C 17/30 ,  C04B 41/83 ,  C08J 7/00 306 ,  G02B 1/10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-001505
  
• 特開平1-154021
  
• 特開昭63-135435