特許

J-GLOBAL ID：200903034001069516

回折光学素子及びそれを用いた光学系

発明者： 中井 武彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-307154
公開番号（公開出願番号）：特開平10-133149
出願日： 1996年11月01日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 使用波長域全域で設計次数の回折効率が高くなり、且つそれにより、設計回折次数近傍の回折効率が大幅に低減するような回折光学素子及びそれを用いた光学系を得ること。【解決手段】 基板上にアッベ数が異なる少なくとも2つの材質より成る第1,第2の回折格子を各ピッチ毎に対応するように重ねた回折光学素子であって、該第1の回折格子は1周期内で一方向に厚さが減少する格子を有し、該第2の回折格子は1周期内で該一方向に厚さが増加する格子を有していること。

請求項（抜粋）：

基板上にアッベ数が異なる少なくとも2つの材質より成る第1,第2の回折格子を各ピッチ毎に対応するように重ねた回折光学素子であって、該第1の回折格子は1周期内で一方向に厚さが減少する格子を有し、該第2の回折格子は1周期内で該一方向に厚さが増加する格子を有していることを特徴とする回折光学素子。