特許
J-GLOBAL ID：200903034003594758
パターン読取方法および装置
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-325205
公開番号（公開出願番号）：特開平5-133726
出願日： 1991年11月13日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】【目的】 パターンを常に適正に読み取ることができるパターン読取技術を提供する。【構成】 ウエハ1のペレット識別コード9を照明する光の波長を適宜変更調整することにより、ペレット識別コード9に対する照明光49a、49bの照明の状況を波長毎に変調させる。【効果】 照明光49a、49bの波長を適宜選択することにより、最良の読み取り状況を作り出すことができる。
請求項（抜粋）：
パターンが凹凸によって形成されている被読取物に光を照射し、その被読取物からの反射光を受けることによりパターンを読み取るパターン読取方法において、前記照射光の波長を適宜選択することにより、パターンの読み取り精度を高めることを特徴とするパターン読取方法。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01R 31/26
, H01L 21/02
, H01L 21/66
