特許
J-GLOBAL ID：200903034007952179
物質を検出する装置および物質を検出する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
矢野 敏雄
, 山崎 利臣
, 久野 琢也
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-528345
公開番号（公開出願番号）：特表2005-533265
出願日： 2003年07月03日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
本発明は流体(9)中の少なくとも1つの物質を検出する装置(1)に関する。本発明の装置は少なくとも1つのピエゾアコースティック共振器(2)を含む。この共振器は少なくとも1つの圧電層(4)と、この圧電層上に配置された第1の電極(5)および少なくとも1つの第2の電極(6)と、流体中の物質の吸収に用いられる表面セクション(8)とを有する。ここで圧電層、電極および表面セクションは、電極を駆動したときに表面セクションで吸収される物質の量に依存した共振周波数で共振器が発振(51,52)するように配置されている。本発明の装置は、圧電層の厚さ(7)が0.5μm〜20μmの範囲から選択されており、共振周波数が500MHz〜2GHzの範囲から選択されていることを特徴とする。本発明の装置は高周波数のピエゾアコースティック薄膜共振器を備えた質量センサである。本発明の装置は数Hz×pg-1×cm2の範囲の高い質量感応性を有しており、横方向の広がりも小さい。本発明の装置はバイオセンサまたはガスセンサとして使用される。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つのピエゾアコースティック共振器(2)を含み、該共振器は少なくとも1つの圧電層(4)と、該圧電層上に配置された第1の電極(5;6)および少なくとも1つの第2の電極(6;5)と、流体(9)中の物質の吸収に用いられる表面セクション(8)とを有し、
ここで圧電層、電極および表面セクションは、電極を電気的に駆動したときに表面セクションで吸収される物質の量に依存した共振周波数で共振器が発振するように配置されている
流体中の少なくとも1つの物質を検出する装置(1)において、
圧電層(4)の厚さ(7)が0.1μm以上20μm以下の範囲から選択されており、
共振周波数が500MHz以上10GHz以下の範囲から選択されている
ことを特徴とする流体中の少なくとも1つの物質を検出する装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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