特許
J-GLOBAL ID:200903034015990233

カーボン被覆光ファイバの製造装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-026604
公開番号(公開出願番号):特開平10-226541
出願日: 1997年02月10日
公開日(公表日): 1998年08月25日
要約:
【要約】【課題】 光ファイバの周囲に均質な厚さのカーボン膜を簡単に生成させることができるカーボン被覆光ファイバの製造装置を提供する。【解決手段】 線引後の光ファイバ4を熱CVD反応炉を備えたカーボン膜被覆装置5を通過させて光ファイバ4の表面にカーボン膜を形成するカーボン被覆光ファイバの製造装置であって、熱CVD反応炉5内には高周波誘導コイル8が配置されていて、高周波誘導コイル8中を通過する光ファイバ4の表面に形成中のカーボン膜に誘導電流を流し、生成中のカーボン膜を加熱してカーボン膜の形成を促進する。
請求項(抜粋):
線引後の光ファイバを熱CVD反応炉を備えたカーボン膜被覆装置を通過させて前記光ファイバの表面にカーボン膜を形成するカーボン被覆光ファイバの製造装置において、前記熱CVD反応炉内には高周波誘導コイルが配置されていて、該高周波誘導コイル中を通過する前記光ファイバの表面に形成中のカーボン膜に誘導電流を流し、前記形成中のカーボン膜を加熱してカーボン膜の形成を促進することを特徴とするカーボン被覆光ファイバの製造装置。
IPC (3件):
C03C 25/02 ,  C23C 16/26 ,  G02B 6/44 326
FI (3件):
C03C 25/02 F ,  C23C 16/26 ,  G02B 6/44 326

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