特許

J-GLOBAL ID：200903034016699710

研磨装置用ドレッサ

発明者： 江口 芳和
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-329460
公開番号（公開出願番号）：特開2000-153445
出願日： 1998年11月19日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】 平坦化コストを低減する。【解決手段】 ドレッサ本体42は、支持板46の周縁部に半円形の目立て部52が設けてあるとともに、半月状の平滑板54を備えている。平滑板54は、上部が支持板46に形成した装着凹部62に嵌入させてある。支持板46の上部には、装着凹部62と対応した位置に取付け板44に形成した室65が配置されている。装着凹部62の天井部に配置したバックフィルム64には、透孔70が形成してある。透孔70は、支持板46に設けた貫通孔を介して室65に連通している。室65は、管68を介して吸引されて負圧にされるとともに、圧縮空気が供給されるようになっていて、平滑板54をバックフィルム64に吸着したり、研磨布14に押圧できるようにしてある。

請求項（抜粋）：

回転する研磨布に対して進退可能なアームに、前記研磨布の作用面を荒らす目立て部と、前記研磨面を平滑化する平滑板とを回転自在に設けたことを特徴とする研磨装置用ドレッサ。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  B24B 53/02 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/00 A ,  B24B 53/02 ,  H01L 21/304 622 M

Fターム (7件)：

3C047AA15 ,  3C047AA18 ,  3C047AA34 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058DA02