特許
J-GLOBAL ID：200903034021349434
ウエハの位置決め装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-248827
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090390
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 オリエンテーションフラットを利用してステージ上の所定位置にウェハを位置決めするウェハの位置決め装置において、ウェハホルダの回転基準位置復帰回数削減によりスループットを向上し、ウェハホルダの凹部縮小により歩留りを向上できるウェハの位置決め装置を提供する。【構成】 第1の基準部材10と第2の基準部材11と押圧手段12,13を、ウェハホルダ2と一体的に設け、回転手段4〜9の働きによりウェハホルダ2が回転する時に一体的に回転するようにしたことにより、ウェハ交換時にウェハホルダ2の回転を基準位置に戻す必要性をなくし、また、凹部2cの幅をウェハホルダ2の回転ストローク分狭めてウェハの平坦化に都合よくする。
請求項（抜粋）：
ウェハを載置して水平面内を移動可能なウェハステージ上の所定位置に、周縁の一部に直線状の切り欠きを設けたウェハを位置決めするウェハの位置決め装置において、前記ウェハを載置して吸着保持可能なウェハホルダと、前記ウェハホルダを前記ウェハステージに対して回転させる回転手段と、前記ウェハの円周部に当接する第1の当接部を有する第1の基準部材と、前記ウェハの切り欠きに当接する第2の当接部を有する第2の基準部材と、前記ウェハを前記第1の基準部材および第2の基準部材に押し付ける押圧手段とを前記ウェハステージ上に備え、前記第1の基準部材と前記第2の基準部材と前記押圧手段は前記回転手段により前記ウェハホルダと一体的に回転するように設けられていることを特徴とするウェハの位置決め装置。
IPC (2件)：
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