特許
J-GLOBAL ID:200903034025810420
バー塗布方法及び装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松浦 憲三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-272165
公開番号(公開出願番号):特開2006-082059
出願日: 2004年09月17日
公開日(公表日): 2006年03月30日
要約:
【課題】バー塗布において、横段状ムラ、流動ムラ、縦スジ等の塗布故障を発生させずにウエブに薄膜塗布する。【解決手段】ウエブ18に、バー受け部材22に支持されて回転する円柱状のバー20を用いて塗布液を塗布するバー塗布装置10において、バー受け部材22のバー支持面46におけるバー径方向に対応する断面形状は、バー20を受ける円弧部分48を少なくとも有する凹形状に形成され、バー20の半径をR1、バー支持面46の円弧部分48の曲率半径をR2、バー支持面46のうちバー20をホールドしているホールド角度をθ1、R2の曲率を有する仮想円形50の中心52とバー支持面46の両エッジ54、54とを結ぶ仮想直線56が成すバー支持面領域角度をθ2、仮想直線56のうちの仮想円形50の外周からエッジ54までの距離をΔとしたときに、40°≦θ1<θ2≦180°、1.01≦R2/R1≦1.20、Δ≧0.03mmを満たす。【選択図】図5
請求項(抜粋):
連続走行しているウエブに、バー受け部材に支持されて回転する円柱状のバーを用いて塗布液を塗布するバー塗布装置において、
前記バー受け部材の前記バーを支持するバー支持面におけるバー径方向に対応する断面形状は、前記バーを受ける円弧部分を少なくとも有する凹形状に形成され、
前記バーを回転していない状態で前記バー支持面に支持させたときに、前記バーの半径をR1、前記バー支持面の前記円弧部分の曲率半径をR2、前記バー支持面のうち前記バーをホールドしているホールド角度をθ1、前記R2の曲率を有する仮想円形の中心と前記バー支持面の両エッジとを結ぶ仮想直線が成すバー支持面領域角度をθ2、前記仮想直線のうちの前記仮想円形の外周から前記エッジまでの距離をΔとしたときに、
40°≦θ1<θ2≦180° ...式1、
1.01≦R2/R1≦1.20...式2、
Δ≧0.03mm ...式3を全て満足するように前記バー支持面が形成されていることを特徴とするバー塗布装置。
IPC (3件):
B05C 1/08
, B05D 1/28
, G02B 5/30
FI (3件):
B05C1/08
, B05D1/28
, G02B5/30
Fターム (29件):
2H049BA06
, 2H049BC01
, 2H049BC04
, 2H049BC09
, 4D075AC22
, 4D075AC29
, 4D075AC34
, 4D075AC72
, 4D075AC80
, 4D075AC93
, 4D075CA48
, 4D075DA04
, 4D075DB18
, 4D075DB33
, 4D075DB36
, 4D075DB37
, 4D075DB38
, 4D075DB40
, 4D075DB48
, 4D075DB53
, 4D075DC24
, 4D075EA07
, 4D075EB07
, 4D075EB19
, 4D075EB22
, 4F040AA22
, 4F040AC01
, 4F040BA12
, 4F040CB07
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
塗布方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-014174
出願人:富士写真フイルム株式会社
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