特許

J-GLOBAL ID：200903034026454066

プラズマヒータ

発明者： 堀江 竜郎
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-219600
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062793
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、ガスの加熱体積を大きくしてガス体の内部の温度を下げ、かつ、大量のガスをガス内の温度勾配を小にして加熱することができるプラズマヒータを提供するにある。【構成】本発明は気体を加熱するヒータにおいて、複数のプラズマヒータから成り、これらのプラズマヒータは次段以後のヒータには前段にて発生させたプラズマガスに別のガスを注入する装置を備えており、その注入ガスとプラズマガスをともに加熱すると共に、初段のヒータに注入力する高周波電力は次段に比して必ず小なることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

気体を加熱するヒータにおいて、複数のプラズマヒータから成り、これらのプラズマヒータは、次段以後のヒータには前段にて発生させたプラズマガスに別のガスを注入する装置を備えており、その注入ガスとプラズマガスをともに加熱すると共に、初段のヒータに注入力する高周波電力は次段に比して必ず小なることを特徴とするプラズマヒータ。