欠陥検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-335032
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153811
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】多量の欠陥が発生した場合にも欠陥検査を行なうことができる欠陥検査装置を提供する。【解決手段】制御装置50は、ラインセンサ30から出力される検出結果の検査範囲を各画像処理装置40-1〜40-4に割り当てる設定を行なう。検査処理においては、照明装置20から被検査物10へ光が照射され、ラインセンサ30が被検査物10から反射された光を検出し、画像データを生成する。次いで、ラインセンサ30は、割り当てられた設定に従い、画像データを画像処理装置40-1〜40-4へ出力する。画像処理装置40-1〜40-4は、画像データが入力されると、設定された検査範囲において、検査条件に基づき欠陥の検出を行い、検査結果を制御装置50へ出力する。制御装置50はこの情報を制御装置50に接続されたディスプレイに表示する。

請求項（抜粋）：

被検査物を照明する照明装置と、前記照明装置によって照明された被検査物を撮像し、画像データを生成するセンサと、前記画像データを受けて、予め設定された画像範囲内の画像データから、この画像範囲に対応する範囲に存在する被検査物に欠陥があるか否かの検出を行なう複数の画像処理装置と、前記画像処理装置の各検出結果を合成する制御装置と、を具備することを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/892 , G01B 11/30

FI (2件)：

G01N 21/892 A , G01B 11/30 A

Fターム (39件)：

2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065BB22 , 2F065BB24 , 2F065CC02 , 2F065DD03 , 2F065FF04 , 2F065FF42 , 2F065GG03 , 2F065HH02 , 2F065HH13 , 2F065JJ02 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065JJ25 , 2F065MM02 , 2F065PP12 , 2F065QQ04 , 2F065QQ21 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ32 , 2F065RR05 , 2F065SS13 , 2G051AA32 , 2G051AA41 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051BA20 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA20 , 2G051ED07 , 2G051FA10

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