特許
J-GLOBAL ID:200903034029114193

弾性表面波フィルタ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 清水 守 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-300167
公開番号(公開出願番号):特開平5-275964
出願日: 1991年11月15日
公開日(公表日): 1993年10月22日
要約:
【要約】【目的】 高温シールでもパッド電極とパッシベーション膜が適用できるような電極構造を有する弾性表面波フィルタを提供する。【構成】 基板上に、すだれ状電極と、その上に形成されるパッシベーション膜と、そのコンタクト部にパッド電極を有する弾性表面波フィルタにおいて、Cr/Auパッド電極15の中央部直下のAl-Cu合金層(すだれ状電極)11にホールを形成し、かつ、SiO2 膜12の縁部を挟んでAl-Cu合金層(すだれ状電極)11とCr/Auパッド電極15のコンタクトがCr/Auパッド電極15の周辺部で取れるようにしている。
請求項(抜粋):
圧電基板上に、すだれ状電極と、その上に形成されるパッシベーション膜と、該パッシベーション膜に形成されるコンタクト部にCr/Auパッド電極を有する弾性表面波フィルタにおいて、前記Cr/Auパッド電極の中央部直下のすだれ状電極にホールを形成し、かつ、前記パッシベーション膜の縁部を挟んで前記すだれ状電極と前記Cr/Auパッド電極のコンタクトを前記Cr/Auパッド電極の周辺部で取れるようにしたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開平2-248109
  • 特開昭60-041315
  • 特開平2-278909
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