特許
J-GLOBAL ID：200903034029344881
表面処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-145801
公開番号（公開出願番号）：特開平10-314934
出願日： 1997年05月20日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 金属の濡れ性やメッキ特性を向上させるための表面処理方法。【解決手段】 化学的に安定なCF4等のハロゲン化合物を含む原料ガスを表面処理ユニツト30内のプラズマ発生部に導入し、そこにて、大気圧下で、原料ガスを0〜50kHzの低周波数の交流電圧または直流電圧が印加される電極により励起して分解し、反応性の高いフッ素F2を生成し、フッ素を含む処理ガスをワーク10に接触させて、表面処理し、被処理体の表面を清浄にすると同時に金属表面に安定な金属フッ化物の被膜を形成し、ハロゲン化合物の分解を、水または酸素を含む雰囲気にて実施すると、ハロゲン化水素またはハロゲンが効率よく分解され、その後、被処理体を加熱あるいはメッキ液に浸すことによって、前記金属のフッ化物を除去する、ワーク10の表面処理方法。
請求項（抜粋）：
以下の工程(a),(b)および(c)を含むことを特徴とする表面処理方法。(a)ハロゲン化合物(ハロゲン化水素を除く)を分解してハロゲンまたはハロゲン化水素を含む処理ガスを形成する工程、(b)前記処理ガスを金属からなる被処理体の表面に接触させ、前記被処理体の金属表面に金属のハロゲン化物からなる保護膜を形成する前処理工程、および(c)前記工程(b)を経た被処理体を加熱することによって、前記金属のハロゲン化物を蒸発させて除去するとともに、合金を用いたロウ付けによって前記被処理体の金属の接合処理を行う加熱工程。
IPC (4件)：
B23K 1/20
, C23C 28/00
, C23G 5/00
, C23F 4/00
B23K 1/20 H
, C23C 28/00 B
, C23G 5/00
, C23F 4/00 A
