特許
J-GLOBAL ID：200903034032393940
電子線照射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-156116
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005498
出願日： 1995年06月22日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】被照射体のサイズや照射エネルギが頻繁に変化するような場合でも運転効率や運転条件設定に対する信頼性の向上を図ることにある。【構成】電子銃部3から発生した電子線1を加速部3により加速すると共に、、真空状態に保持された走査管部5を通して電子線の照射範囲を走査してウインドウ部6より気中に置かれた被照射物質に照射することにより、該物質の特性を変化させるようにした電子線照射装置において、ウンンドウ部6の走査方向に移動可能に設けられ電子線1の走査範囲を検知する電流プローブ14と、この電流プローブの移動位置を検出する位置検出機構16と、この位置検出機構16により検出された電流プローブ14の位置検出値と位置設定値とを比較し、その偏差に基づき電流プローブ14の移動位置を制御して電子線1の照射範囲を制御する位置判定部20とを備えたものである。
請求項（抜粋）：
電子銃から発生した電子線を加速部により加速すると共に、真空状態に保持された走査管を通して前記電子線の照射範囲を走査してウインドウ部より気中に置かれた被照射物質に照射することにより、該物質の特性を変化させるようにした電子線照射装置において、前記ウンンドウ部の走査方向に移動可能に設けられ電子線の走査範囲を検知する導電性金属体と、この導電性金属体の移動位置を検出する位置検出機構と、この位置検出機構により検出された前記導電性金属体の位置検出値と位置設定値とを比較し、その偏差に基づき前記導電性金属体の移動位置を制御して前記電子線の照射範囲を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする電子線照射装置。
IPC (6件)：
G21K 5/04
, G21K 5/00
, H01J 37/04
, H01J 37/147
, H01J 37/18
, H01J 37/30
G21K 5/04 E
, G21K 5/04 C
, G21K 5/00 W
, H01J 37/04 A
, H01J 37/147 C
, H01J 37/18
, H01J 37/30 A
