表面検査方法、表面検査装置及びプリズム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河野登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-009373
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196856
出願日： 1996年01月23日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】被検査体の表面を、高速度で安価に検査する表面検査方法、表面検査装置及びプリズムを提供すること。【解決手段】被検査体1に光を照射する発光体3の下方にコーンプリズム4を設け、コーンプリズム4の下方に、傾斜した反射面5aと、貫通孔5bとを有する反射鏡5を設け、反射面5aに投影された画像を、反射面5aに対し45°の角度で撮影するCCDカメラ6を設けて、発光体3を瞬時発光させたとき、反射面5aに表示された画像を撮影して、被検査体1の表面の良否を検査する。

請求項（抜粋）：

被検査体の表面を光学的に検査する方法において、前記被検査体からの反射光を入射すべき環状のプリズムと、該プリズムからの出射光を入射すべき撮影手段とを用い、該撮影手段が撮影した画像により被検査体の表面を検査することを特徴とする表面検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G02B 5/04 , G03B 15/00

FI (3件)：

G01N 21/88 A , G02B 5/04 F , G03B 15/00 T

引用特許：

審査官引用 (8件)

特表平3-502601
特公昭48-022018
特開昭60-217325

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