特許
J-GLOBAL ID：200903034041567330
液晶配向システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 西島 孝喜
, 須田 洋之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-197070
公開番号（公開出願番号）：特開2008-040491
出願日： 2007年07月30日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
【課題】従来の技術と比較して、方向や角度が調整可能になるよう配向膜の表面を改質することで、単一の製造工程によりプレチルト角の配向の安定性を図るための液晶配向製法および該製法に適用される液晶配向システムを提供する。【解決手段】液晶分子配列を有する配向膜表面に、該配向膜を、単一または複数のプラズマ生成装置により処理することで、液晶分子がプレチルト角を有する配列となることが可能となる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基材表面の配向膜を配向することに適用される液晶配向システムにおいて、
プロセスチャンバーを有する機台と、
前記プロセスチャンバーに設けられ、配向のために前記基材を移動させる基材移動機構と、
前記配向膜を改質するために前記プロセスチャンバーに方向や角度が調整可能になるように設けられ、前記基材移動機構に面してそれぞれ配列され、一回の製造工程によりプレチルト角が安定的になる配向効果を得られるようにした複数のプラズマ生成装置と、
を備えていることを特徴とする液晶配向システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2H090HB02Y
, 2H090HB07Y
, 2H090HB08Y
, 2H090HC03
, 2H090HC05
, 2H090HD14
, 2H090JC09
, 2H090JC19
, 2H090MA01
, 2H090MA02
, 2H090MA10
, 2H090MA11
, 2H090MB12
, 2H090MB14
