特許
J-GLOBAL ID：200903034067834027
ウェーハ姿勢合わせ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-184451
公開番号（公開出願番号）：特開平7-022495
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】半導体製造装置に於いて機構を簡略化し、製作調整を容易にし、更にウェーハ姿勢合わせの完了確認を行えるウェーハ姿勢合わせ装置を提供する。【構成】オリエンテーションローラ19とサイドロッドローラ30の中心間距離をウェーハのオリエンテーションフラット直線部長さ以下とし、或は少なくともオリエンテーションローラの両端近傍に光センサを設け、該センサの光軸をウェーハのオリエンテーションフラット欠切部に位置させ、オリエンテーションローラとサイドロッドローラをウェーハに当接させた状態でオリエンテーションローラを回転させてウェーハを回転し、ウェーハのオリエンテーションフラット32をサイドロッドローラに当接させることでウェーハの回転を阻止して姿勢合わせをし、或は光センサがウェーハのオリエンテーションフラット欠切部の有無を検知することで姿勢合わせの完了を判断する。
請求項（抜粋）：
オリエンテーションモータに駆動されるオリエンテーションローラと該オリエンテーションローラと平行に設けられたサイドロッドローラを具備し、前記オリエンテーションローラとサイドロッドローラをウェーハに当接可能とすると共にオリエンテーションローラとサイドロッドローラの中心間距離をウェーハのオリエンテーションフラット直線部長さ以下としたことを特徴とするウェーハ姿勢合わせ装置。
IPC (2件)：
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