特許

J-GLOBAL ID：200903034079309220

反射スペクトル測定方法及びその装置

発明者： 貝原 巳樹雄
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-133420
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321205
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 試料の表面の加工を行うことなく、非破壊測定を行うことができる反射スペクトル測定方法及びその装置を提供する。【解決手段】 反射スペクトル測定方法において、試料3に入射する光の入射角度を変えて照射し、得られた一連のスぺクトルをコンピュータ6で積分処理し、この積分された一連のデータのうち拡散反射成分に基づくデータをコンピュータ6で分離し、この拡散反射成分に基づくデータをコンピュータ6で微分し、反射スペクトルの反射測定において得られるスペクトルのうち、拡散反射成分に基づくスペクトル情報のみを抽出する。

請求項（抜粋）：

反射スペクトル測定方法において、(a)試料に入射する光の入射角度を変えて照射し、(b)得られた一連のスぺクトルを非負変換処理し、(c)該非負変換処理された一連のデータのうち拡散反射成分に基づくデータを分離し、(d)前記拡散反射成分に基づくデータを非負変換の逆変換処理し、(e)反射スペクトルの反射測定において得られるスペクトルのうち、拡散反射成分に基づくスペクトル情報のみを抽出することを特徴とする反射スペクトル測定方法。

Fターム (9件)：

2G059AA01 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ13 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10