特許

J-GLOBAL ID：200903034085165809

撥水性ハードコート被膜の製造方法

発明者： 上原 剛 ,  蔦尾 友重 ,  北村 真
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-147613
公開番号（公開出願番号）：特開平7-003438
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年01月06日
要約：

【要約】【目的】撥水性を有し、耐擦傷性が優れると共に、基材との密着性が優れた撥水性ハードコート被膜を製造する方法。【構成】金属酸化物及びフッ素系樹脂をターゲットとし、電子銃の加速電圧一定の条件下で、金属酸化物のターゲットに照射する電子ビームのエミッション電流(Im)と、フッ素系樹脂のターゲットに照射する電子ビームのエミッション電流(If)との比(If/Im)を一定に保ちながら、各ターゲットに別々の電子ビームを照射してターゲットを蒸発させ、真空蒸着法により基材5上に金属酸化物8及びフッ素系樹脂9の混合被膜を形成する。

請求項（抜粋）：

金属酸化物及びフッ素系樹脂をターゲットとし、電子銃の加速電圧一定の条件下で、金属酸化物のターゲットに照射する電子ビームのエミッション電流(Im)と、フッ素系樹脂のターゲットに照射する電子ビームのエミッション電流(If)との比(If/Im)を一定に保ちながら、各ターゲットに別々の電子ビームを照射してターゲットを蒸発させ、真空蒸着法により基材上に金属酸化物及びフッ素系樹脂の混合被膜を形成することを特徴とする撥水性ハードコート被膜の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 14/30 ,  C23C 14/06 ,  B32B 27/30