特許
J-GLOBAL ID:200903034090491668
センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-507077
公開番号(公開出願番号):特表平10-506718
出願日: 1996年07月06日
公開日(公表日): 1998年06月30日
要約:
【要約】少なくとも1つの抵抗測定ブリッジ(7、8)を有する測定ダイヤフラム(2)を持つセンサであって、前記測定ダイヤフラム(2)のひずみによって、それぞれの前記測定ブリッジ(7、8)のアンバランスが発生し、このアンバランスの結果生じるブリッジの対角線電圧の変化が評価されるセンサを提案する。このセンサ(1)は、それぞれ前記抵抗測定ブリッジ(7、8)を、前記測定ダイヤフラム(2)のそれぞれ半分(3、4)上に有しており、前記抵抗測定ブリッジ(7、8)の各々において、互いに向かい合って配置された2つのブリッジ分岐(R1、R4)は、半径方向の圧縮によってその抵抗値(ΔR)を変化させ、そしてそれぞれ他のブリッジ分岐(R2、R3)は、半径方向ないしは接線方向の引張によってその抵抗値(ΔR)を変化させる。
請求項(抜粋):
1.少なくとも1つの抵抗測定ブリッジ(7、8)から構成される、測定ダイヤフラム(2)上の測定素子を有するセンサであって、 前記測定ダイヤフラム(2)のひずみによって、それぞれの前記測定ブリッジ(7、8)のアンバランスが発生し、このアンバランスの結果生じるブリッジの対角線電圧の変化が評価され、 センサ(1)は、それぞれ前記抵抗測定ブリッジ(7、8)を、前記測定ダイヤフラム(2)のそれぞれ半分(3、4)上に有しているセンサにおいて、 第1の抵抗測定ブリッジ(8)において、4つ全てのブリッジ分岐(R1、R2、R3、R4)は、前記測定ダイヤフラム(2)上の半径方向に作用する機械的応力(σr)を加えられ、半径方向の引張によって負荷をかけられるこれらブリッジ分岐は、前記測定ダイヤフラム(2)の中心部に設けられており、 前記第1の抵抗測定ブリッジ(8)とは異なり、第2の抵抗測定ブリッジ(7)においては、接線方向の引張を加えられるブリッジ分岐(R2、R3)は、前記測定ダイヤフラム(2)の周縁領域に設けられており、さらに、前記ブリッジ分岐(R2、R3)は、該ブリッジ分岐(R2、R3)に対して接線方向の機械的応力(σt)が作用するように配向されていることを特徴とするセンサ。
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