特許
J-GLOBAL ID:200903034091224701

酸化物圧電材料の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-166926
公開番号(公開出願番号):特開平8-337423
出願日: 1995年06月07日
公開日(公表日): 1996年12月24日
要約:
【要約】【目的】 組成比がずれず、焼結温度が低く、かつ特性ばらつきのない酸化物圧電材料を、少ない工程で簡便に、安価に製造する酸化物圧電材料の製造方法を提供すること。【構成】 Pb,Ti,Zrの元素を含む金属塩とアミノ酸との錯体の溶液を加熱して得られるジルコン酸チタン酸鉛(PZT)粉末を原料とし、混合、造粒、成形、焼結して焼結体を得る際、前記金属塩としてPb(NO3)2,ZrO(NO3)2,Ti[OCH(CH3)2]4を用い、金属塩の総mol数とアミノ酸の総mol数の比を1:(0.5〜2)とし、前記PZT粉末を得る方法として噴霧熱乾燥法を用いる。
請求項(抜粋):
Pb,Ti,Zrの元素を含む金属塩とアミノ酸との錯体の溶液を加熱して得られるジルコン酸チタン酸鉛(PZT)粉末を原料とし、混合、造粒、成形、焼結して焼結体を得ることを特徴とする酸化物圧電材料の製造方法。
IPC (4件):
C01G 25/00 ,  C04B 35/49 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24
FI (4件):
C01G 25/00 ,  C04B 35/49 A ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 A

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