特許
J-GLOBAL ID：200903034093414710
洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-142099
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335291
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 この発明は洗浄液に超音波振動を付与するゾル体内の空気抜きを確実かつ迅速に行えるようにした洗浄装置を提供することを目的とする。【解決手段】 半導体ウエハUを超音波振動が付与された洗浄液によって洗浄する洗浄装置において、ア-ム体41と、このア-ム体に所定の角度で傾斜して設けられ内部に供給された洗浄液に超音波振動を付与する上部ノズル体31と、このノズル体の側面の傾斜方向上側となる部分に接続され上記ノズル体の内部に上記洗浄液を供給する供給管44とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被洗浄物を超音波振動が付与された洗浄液によって洗浄する洗浄装置において、取付け部材と、この取付け部材に所定の角度で傾斜して設けられ内部に供給された洗浄液に超音波振動を付与するノズル体と、このノズル体の側面の傾斜方向上側となる部分に接続され上記ノズル体の内部に上記洗浄液を供給する供給管とを具備したことを特徴とする洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/12
H01L 21/304 341 N
, B08B 3/12 Z
