光変調素子及び光変調アレイ素子並びにそれを用いた露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：小栗昌平 , 本多弘徳 , 市川利光 , 高松猛 , 濱田百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-330508
公開番号（公開出願番号）：特開2005-099186
出願日： 2003年09月22日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】非接触で光反射体の変位を可能にする素子において、低電圧で高速駆動が可能となり、しかも、小型化、高解像度化が容易な光変調素子及び光変調アレイ素子並びにそれを用いた露光装置を得る。【解決手段】基板21と、基板21上で変位可能に架設され少なくとも一部に導電部を有する可動部材31と、可動部材31の変位に従動し該可動部材31に固定された光学機能膜27と、可動部材31の機械的変位が可能となる軌道範囲外に配置され該可動部材31を変位駆動させる駆動用固定電極33とを備え、可動部材31の導電部と駆動用固定電極33への駆動電圧印加により、可動部材31と駆動用固定電極33との間に静電吸引力を作用させ、可動部材31を非接触で変位駆動して静止させ、光学機能膜に照射された光を変調する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上で変位可能に架設され少なくとも一部に導電部を有する可動部材と、該可動部材の変位に従動し該可動部材に固定された光学機能膜と、該可動部材の機械的変位が可能となる軌道範囲外に配置され該可動部材を変位駆動させる駆動用固定電極とを備え、前記可動部材の導電部と前記駆動用固定電極への駆動電圧印加により、前記可動部材と前記駆動用固定電極との間に静電吸引力を作用させ、該可動部材を前記駆動用固定電極に対して非接触状態を維持しつつ変位駆動して静止させ、前記光学機能膜に照射された光を変調することを特徴とする光変調素子。

IPC (3件)：

G02B26/08 , B81B3/00 , B81B7/04

FI (3件)：

G02B26/08 E , B81B3/00 , B81B7/04

Fターム (6件)：

2H041AA12 , 2H041AA16 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ01 , 2H041AZ08

引用特許：

出願人引用 (2件)

空間光変調器
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-097041 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
デジタル・マイクロミラー・デバイスと非接触の端部結合型隠れヒンジ構造のための方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-398010 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド

審査官引用 (6件)

光スキャナとその駆動方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-205707 出願人：日本電気株式会社
光偏向器用のミラー揺動体
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-383847 出願人：オリンパス光学工業株式会社
光走査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-070305 出願人：株式会社リコー

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