特許
J-GLOBAL ID：200903034099259920
絶対圧型半導体圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-002012
公開番号（公開出願番号）：特開平6-203712
出願日： 1993年01月08日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 電極配線を金属材料により形成し、配線抵抗を小さくする。【構成】 凹部を形成してなるダイヤフラム5aと、該ダイヤフラム上に形成された下部電極2と、該下部電極の外部端子としてパッド8aを有するシリコン基板5に、上部電極1a及び前記パッドに対向した穴9を形成してなるガラス基板1を陽極接合して密閉空間を形成し、前記ダイヤフラムで圧力を感知する絶対圧型の半導体圧力センサにおいて、前記シリコン基板およびガラス基板の電極を金属材料により形成すると共に、前記シリコン基板の凹部に隣接して前記金属電極の厚み以下の段差を形成した。
請求項（抜粋）：
凹部を形成してなるダイヤフラムと、該ダイヤフラム上に形成された下部電極と、該下部電極の外部端子としてパッドを有するシリコン基板に、上部電極及び前記パッドに対向した穴を形成してなるガラス基板を陽極接合して密閉空間を形成し、前記ダイヤフラムで圧力を感知する絶対圧型の半導体圧力センサにおいて、前記シリコン基板及びガラス基板の電極を金属材料により形成すると共に、前記シリコン基板の凹部に隣接して前記金属電極の厚み以下の段差を形成したことを特徴とする絶対圧型圧力センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭49-061688
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特開昭60-035482
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