特許
J-GLOBAL ID：200903034106194049
基板検出装置およびケース内への基板搬入装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-186521
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031913
出願日： 1994年07月14日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】 比較的簡単な構成によって基板の位置ズレを光学的に検出する。【構成】 発光ダイオード1aおよびフォトトランジスタ1bからなるフォトインタラプタ1と、同様のフォトインタラプタ2とが、透光性基板Wの搬送経路を挟んで対向配備され、各フォトインタラプタ1,2の光軸が基板Wにほぼ直交している。透光性基板Wに位置ズレが生じていると、いずれか一方のフォトインタラプタ1の光軸を透光性基板Wが横切るので、そのときのフォトトランジスタ1b(または2b)の検出信号の急激な変化を検知することにより、透光性基板Wの位置ズレが検出される。
請求項（抜粋）：
投光部と受光部とからなる投受光手段が、基板の搬送経路中心を挟んで対向する位置にそれぞれ配備され、前記2つの投光受光手段の間隔が、基板の位置ズレ許容量に関連して、基板搬送方向と直交する基板側辺よりも若干広く設定されており、前記2つの投光受光手段の各受光部のいずれか一方の検出信号にのみ所定の変化が生じたことを検知することにより基板の位置ズレを検出することを特徴とする基板検出装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G01R 31/28
, G01V 8/12
, H01L 31/12
G01R 31/28 X
, G01V 9/04 G
