特許
J-GLOBAL ID：200903034109245523
プラズマ加工機のノズル装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
佐々木 功
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-124409
公開番号（公開出願番号）：特開平5-146879
出願日： 1991年04月30日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：
【要約】【目的】 ノズル先端とワーク間の距離を静電容量で検出する時、検出された信号に応じたフィードバック信号をシールド電極に送出し、静電容量の検出手段をデジタルカウンタで行い、且つマイコンによるきめ細かな制御を可能とする。【構成】 オシレータ部2とカウンタ3とマイコン4aを含んだ制御部4から構成されている。
請求項（抜粋）：
ノズル先端に設けたセンサ電極と、このセンサ電極の外側に設けたシールド電極と、センサ電極とシールド電極との間に介在された絶縁部とからなるプラズマ加工機のノズル装置において、このノズル装置が前記センサ電極と接続したオシレータと、このオシレータからの信号を計数するカウンタと、ノズル先端とワーク間の距離に応じた信号を出力する制御部とを備えたことを特徴とするプラズマ加工機のノズル装置。
IPC (3件)：
B23K 10/00 502
, H05H 1/36
, H05K 9/00
