特許

J-GLOBAL ID：200903034110040218

欠陥検出方法

発明者： ルイス アルベルツ
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 真田 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-368248
公開番号（公開出願番号）：特開2001-184510
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 欠陥検出方法に関し、背景との輝度差の極めて小さい淡い欠陥でもノイズと区別して正確に検出できるようにする。【解決手段】 被検査体の表面の所定領域を撮像手段により撮像して画像データを取得する。次に、取得した画像データの輝度ヒストグラムを演算し、欠陥部分の輝度が背景の輝度よりも高い場合には輝度ヒストグラムの最高階調から低階調側へ向けて、欠陥部分の輝度が背景の輝度よりも低い場合には最低階調から高階調側へ向けて輝度の頻度を積算していき、前記頻度の積算値が所定面積率を越える輝度を閾値として設定する。次に、画像データを設定した閾値で2値化処理して2値化画像データを得る。そして、欠陥部分の形状の特徴に応じたフィルタを選定し、2値化画像データを選定したフィルタで処理することにより2値化画像データから欠陥を抽出する。

請求項（抜粋）：

被検査体の表面欠陥を検出する方法であって、該被検査体の表面の所定領域を撮像して画像データを取得するステップと、取得した該画像データの輝度ヒストグラムを演算し、該欠陥部分の輝度が背景の輝度よりも高い場合には該輝度ヒストグラムの最高階調から低階調側へ向けて、該欠陥部分の輝度が背景の輝度よりも低い場合には最低階調から高階調側へ向けて輝度の頻度を積算していき、前記頻度の積算値が所定面積率を越える輝度を閾値として設定するステップと、該画像データを該閾値で2値化処理して2値化画像データを得るステップと、該欠陥部分の形状の特徴に応じたフィルタを選定し、該2値化画像データを上記選定したフィルタで処理することにより該2値化画像データから該欠陥を抽出するステップとをそなえたことを特徴とする、欠陥検出方法。

IPC (2件)：

G06T 7/00 ,  G01N 21/88

FI (2件)：

G01N 21/88 J ,  G06F 15/62 400

Fターム (20件)：

2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051CA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA09 ,  2G051EA11 ,  2G051EA23 ,  2G051EA25 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC05 ,  5B057BA19 ,  5B057CA08 ,  5B057CB08 ,  5B057CE06 ,  5B057CE12 ,  5B057CH09 ,  5B057DA03 ,  5B057DC23