特許
J-GLOBAL ID：200903034113454250
感光性樹脂組成物
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-341773
公開番号（公開出願番号）：特開平6-186744
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【構成】 特定構造のポリアミド酸エステルと乳酸エステルとからなる感光性樹脂組成物。【効果】 本樹脂組成物は、シリコンウエハ等に塗布した際に、はじき及びピンホール現象が認められず、シリコンウエハ面内の膜厚バラツキを極めて小さくすることができる。
請求項（抜粋）：
式(1)で示されるポリアミド酸エステルと式(2)で示される乳酸エステルとからなる感光性樹脂組成物。【化1】CH3-CH(OH)-COO-R7 (2)ここでR7,:CH3、C2H5、C3H7又はC4H9
IPC (5件)：
G03F 7/038 504
, C08K 5/04
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/027 514
, H01L 21/027
