特許

J-GLOBAL ID：200903034120311023

大規模集積回路の非接触計測装置

発明者： 青山 新太郎
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-265339
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091596
出願日： 1999年09月20日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 LSIの封止構造を除去しなくても、内部の電源配線に生じた電位変動を非接触で測定できる簡便なLSIの非接触計測装置を提供する。【解決手段】 本発明による装置1は、LSI10内部の電源配線からの放射電磁波Wを受信するためのアンテナ20と、受信した放射電磁波Wによる誘導起電力vAを経時的に計測する電圧計30と、計測結果の時系列データPを換算係数によってLSI10内部に生じた電位変動vLに換算する計算部40と、換算した電位変動vLを計測者に表示する表示部50とを有した構成である。アンテナ20は、測定対象であるLSI10の近傍か、またはLSI10の絶縁部分に接触させて配置してある。好ましくは、絶縁させた金属板21をアンテナ20の裏面に付加し、他からの不要な電磁波を遮蔽させる。

請求項（抜粋）：

大規模集積回路内部の電源配線に生じた電位変動を、大規模集積回路上方から非接触で計測する非接触計測装置であって、前記電源配線から放射される電磁波を受信するため、半導体ペレット近傍に配置したアンテナと、このアンテナに誘起された誘導起電力を経時的に測定する電圧計と、この電圧計で測定した誘導起電力に換算係数を乗算し、大規模集積回路の電位変動を計算する計算部とを有した大規模集積回路の非接触計測装置。

IPC (3件)：

G01R 31/302 ,  G01R 1/06 ,  G01R 29/08

FI (3件)：

G01R 1/06 F ,  G01R 29/08 D ,  G01R 31/28 L

Fターム (11件)：

2G011AA01 ,  2G011AC03 ,  2G011AC04 ,  2G011AE03 ,  2G032AD01 ,  2G032AE09 ,  2G032AE10 ,  2G032AE14 ,  2G032AF09 ,  2G032AG07 ,  2G032AH01