特許

J-GLOBAL ID：200903034120940322

ポッティング装置、シリンジ固定治具及び残量検知棒

発明者： 高森 直也 ,  宇都宮 昭宏
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-248626
公開番号（公開出願番号）：特開2003-059956
出願日： 2001年08月20日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：

【要約】【課題】 シリンジ1のポッティング装置本体26への取付を容易にし、且つ、径の異なるシリンジ1に対応することができるポッティング装置及びその取付に使用するシリンジ固定治具20を提供する。【解決手段】シリンジ固定治具20を、一部がその中心孔22が外部と連通(露出)するように切り欠かれた(切り欠き部21)略円筒状の円筒状本体23と、円筒状本体23の該切り欠かれた部分21に嵌り、該円筒状本体23の中心孔22にシリンジ1が収納されたときに固定ねじ27により上記装置本体26に固定されると共に、該円筒状本体23とでシリンジ1を押さえる押さえ部24とで構成する。

請求項（抜粋）：

装置本体にシリンジを固定するシリンジ固定治具が、上記シリンジが通される中心孔を有し、一部が該中心孔と連通するように切り欠かれた略円筒状の円筒状本体と、上記円筒状本体の上記切り欠かれた部分に嵌り、該円筒状本体の中心孔にシリンジが収納されたときにねじにより上記装置本体に固定されると共に、該円筒状本体とでシリンジを押さえる押さえ部と、からなることを特徴とするポッティング装置。

IPC (4件)：

H01L 21/52 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00 ,  G01F 23/00

FI (4件)：

H01L 21/52 G ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00 ,  G01F 23/00 E

Fターム (19件)：

2F014AA08 ,  2F014AB02 ,  2F014GA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA12 ,  4F041BA32 ,  4F042AA06 ,  4F042AB01 ,  4F042BA02 ,  4F042CB04 ,  4F042CB24 ,  4F042DH09 ,  5F047AA11 ,  5F047BA21 ,  5F047BA53 ,  5F047BB11 ,  5F047FA22 ,  5F047FA77