特許

J-GLOBAL ID：200903034124104863

高精度微調整機能を備えた光学装置

発明者： 小野 賢治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-217245
公開番号（公開出願番号）：特開2001-042223
出願日： 1999年07月30日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】小型な構成で、かつ、高精度に測定位置を移動させることのできる微調整機構を備えた光学装置を提供する。【解決手段】被検面11の観察領域の像を入射させる像入射面3をもつ観察部と、被検面11を像入射面に拡大結像させる結像光学系1、2と、観察領域を被検面3上で移動させるための調整部102とを有する。調整部102は、結像光学系1、2と像入射面3との間に配置された板状部材21と、板状部材21を結像光学系1、2の光軸101に対して傾斜させる駆動機構とを有する。

請求項（抜粋）：

被検面の観察領域の像を入射させる像入射面をもつ観察部と、前記被検面を前記像入射面に拡大結像させる結像光学系と、前記観察領域を前記被検面上で移動させるための調整部とを有し、前記調整部は、前記結像光学系と前記像入射面との間に配置された板状部材と、前記板状部材を前記結像光学系の光軸に対して傾斜させる駆動機構とを有することを特徴とする光学装置。

IPC (5件)：

G02B 21/00 ,  G02B 7/04 ,  G02B 21/16 ,  G02B 21/36 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G02B 21/00 ,  G02B 21/16 ,  G02B 21/36 ,  G02B 7/04 Z ,  H01L 21/30 525 R

Fターム (11件)：

2H044BF01 ,  2H052AB14 ,  2H052AC04 ,  2H052AC12 ,  2H052AC34 ,  2H052AD32 ,  2H052AD36 ,  2H052AF14 ,  5F046FA10 ,  5F046FA17 ,  5F046FB11