特許
J-GLOBAL ID:200903034128481475

カバー付搬送ロボット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 林 清明 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-360500
公開番号(公開出願番号):特開平6-198589
出願日: 1992年12月28日
公開日(公表日): 1994年07月19日
要約:
【要約】【目的】 清浄空気の流れに乱流を発生させることとがなく、製品その他設備を清浄に保つとともに、ワークをクリーンな環境の下で搬送することができる半導体ウエハ等を収納するカセット等のワークを搬送するのに適したカバー付搬送ロボットを提供すること。【構成】 カバー付搬送ロボットであって、走行体1と、該走行体1の上部に設けた昇降部2と昇降部2に連設したアーム部3とワーク4を把持するチャック部5からなるロボット部と、該ロボット部を覆うカバー6とからなり、該カバー6の上部にフィルター付ファン61a,61b,61cを、下部に排気孔62a,62b,62cを設け、カバー内部を空気がダウンフローするように構成する。
請求項(抜粋):
走行体と、該走行体の上部に設けた昇降部と昇降部に連設したアーム部とワークを把持するチャック部からなるロボット部と、該ロボット部を覆うカバーとからなり、該カバーの上部にフィルター付ファンを、下部に排気孔を設け、カバー内部を空気がダウンフローするように構成したことを特徴とするカバー付搬送ロボット。
IPC (4件):
B25J 19/00 ,  B65G 49/00 ,  G11B 5/84 ,  H01L 21/68
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平2-250790

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