除振台装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：皿田秀夫 , 米田潤三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-350635
公開番号（公開出願番号）：特開2004-183763
出願日： 2002年12月03日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：

【課題】バネ定数をさらに小さくすることができ、さらに装置の振動(揺動)等によってもバネ定数などの性能の変動が生じ難い新規な構造を備える除振台装置を提供する。【解決手段】除振対象物に直接または間接的に敷設され、除振対象物の除振を行う除振台装置であって、該除振台装置は、除振対象物に直接または間接的に接する天井板と、その天井板から垂下する垂下板を備える浮遊部と、この浮遊部を支える固定部を有し、前記浮遊部の垂下板と固定部の間には、実質的に水平方向の荷重を支えるように作動するダイヤフラムが介在されており、前記固定部側にシリンダ相当部が形成されるとともにダイヤフラムの周縁フランジ部が固定されており、ダイヤフラムの受圧面部にはピストン相当部が形成されており、前記ピストン相当部は、ダイヤフラムが固定される固定部位と、前記浮遊部の垂下板と当接する当接部位を有し、当該ピストン相当部は、自動求心作用が働くように垂下板と当接してなるように構成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

除振対象物に直接または間接的に敷設され、除振対象物の除振を行う除振台装置であって、該除振台装置は、除振対象物に直接または間接的に接する天井板と、その天井板から垂下する垂下板を備える浮遊部と、この浮遊部を支える固定部を有し、前記浮遊部の垂下板と固定部の間には、実質的に水平方向の荷重を支えるように作動するダイヤフラムが介在されており、前記固定部側にシリンダ相当部が形成されるとともにダイヤフラムの周縁フランジ部が固定されており、ダイヤフラムの受圧面部にはピストン相当部が形成されており、前記ピストン相当部は、ダイヤフラムが固定される固定部位と、前記浮遊部の垂下板と当接する当接部位を有し、当該ピストン相当部は、自動求心作用が働くように垂下板と当接してなることを特徴とする除振台装置。

IPC (6件)：

F16F15/023 , F16F9/04 , F16F9/05 , F16F15/02 , G03F7/20 , H01L21/027

FI (6件)：

F16F15/023 Z , F16F9/04 , F16F9/05 , F16F15/02 M , G03F7/20 521 , H01L21/30 503F

Fターム (8件)：

3J048AA01 , 3J048BE02 , 3J048DA01 , 3J048DA04 , 3J048EA13 , 3J069AA24 , 3J069AA28 , 5F046AA23

引用特許：

審査官引用 (1件)

除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-254852 出願人：藤倉ゴム工業株式会社

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