特許

J-GLOBAL ID：200903034156412446

排ガス中のヒュ-ム除去方法及びその装置

発明者： 岡本 宏二 ,  森澤 誠 ,  佐枝 学
出願人/特許権者： 岩谷産業株式会社
代理人 (1件)： 北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-016357
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216093
出願日： 1999年01月26日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 簡単な操作で確実にヒュームを除去できる方法及び装置を提供する。【解決手段】 シランガス、アルシンガス、ホスフィンガス等の特殊材料ガスを熱処理式除害装置(1)で熱処理した際に発生するヒュームを処理するにあたり、熱処理式除害装置(1)から導出した燃焼排ガスに水蒸気を作用させた後に冷却して、水蒸気の凝縮作用を利用してヒュームの除去を行うようにした。

請求項（抜粋）：

シランガス、アルシンガス、ホスフィンガス等の水素化物系、六フッ化タングステンを初めとするハロゲン化物系、あるいはトリメチルアルミニウム、トリメチルガリウム等の有機金属材料系の特殊材料ガスを熱処理式除害装置(1)で熱処理した際に発生するヒュームを処理するものにおいて、熱処理式除害装置(1)から導出した燃焼排ガスに水蒸気を作用させた後に冷却し、水蒸気の凝縮作用を利用してヒュームの除去を行うことを特徴とする排ガス中のヒューム除去方法。

Fターム (5件)：

5F045AC01 ,  5F045AC02 ,  5F045AC07 ,  5F045EG07 ,  5F045EG08