特許
J-GLOBAL ID：200903034157336131
微細対象物測定装置の測定箇所視野内設定方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-238969
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066558
出願日： 1992年08月14日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：
【要約】【目的】 微細対象物測定装置において、光ディスクや光磁気ディスク等のごとき記憶情報がR-θ座標系で管理される記憶媒体の欠陥箇所を容易に選択し、探針走査範囲に容易に設定する。【構成】 探針・試料間のトンネル電流等、探針・試料の距離制御機構を利用し、試料5の表面を測定する高分解能測定装置8と、当該表面を観察する低分解能補助観察装置13を備え、補助観察装置はステージ5と既知の位置関係に設置される。補助観察装置13と探針9の相対的位置関係をステージ上のマーカー24で決めるステップと、ステージと試料の相対的位置関係を補助観察装置の画像に基づいて試料表面の特徴部位を利用して決めるステップと、測定箇所の位置データがアドレス情報として事前に与えられ、ステージの移動に同期して補助観察装置によって連続的に得られる試料表面の画像で特徴部位を計測し、位置データを参照して測定箇所を選択し特定するステップと、この測定箇所を、補助観察装置と探針の相対的位置関係に基づき、探針の走査範囲に設定するステップを有する。
請求項（抜粋）：
探針と試料の間に生じるトンネル電流、原子間力、これらに類似する物理量のいずれかを利用し、かつ前記探針と前記試料の距離を制御する機構を利用して、試料ステージ上に配置された前記試料の表面を測定する高い分解能の測定装置と、前記試料の表面を観察する相対的に低い分解能の補助観察装置を備え、前記補助観察装置は前記試料ステージと既知の位置関係に設置されている微細対象物測定装置において、前記補助観察装置と前記探針との相対的な位置関係を、前記試料ステージに設けられたマーカーを利用して決めるステップと、前記試料ステージと前記試料との相対的な位置関係を、前記補助観察装置で得られる画像に基づいて前記試料の表面に形成された特徴部位を利用して決めるステップと、前記試料の測定箇所の位置に関するデータが事前に与えられ、前記試料ステージの移動に同期して前記補助観察装置によって連続的に得られる前記試料の表面の画像で前記特徴部位を計測し、前記データを参照して前記測定箇所を特定するステップと、特定された前記測定箇所を、前記補助観察装置と前記探針の相対的位置関係に基づき、前記探針の測定可能範囲に設定するステップと、からなることを特徴とする微細対象物測定装置の測定箇所視野内設定方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
