特許
J-GLOBAL ID：200903034159975492
化学物質センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平2-419241
公開番号（公開出願番号）：特開平5-099852
出願日： 1990年12月13日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【構成】 基体11表面にセンサ膜12を、裏面に発光素子21および受光素子22を、側面あるいはさらに裏面の一部にAl等の反射膜3を設ける。センサ膜12の光反射率は雰囲気中の被検化学物質量に応じて変化する。【効果】 基体11の少なくとも側面に反射膜3が存在するため、発光素子21から基体11内に照射された光が有効に利用され、感度が向上する。また、反射膜3が基体11内への外光の侵入を防ぐため、測定精度が向上する。
請求項（抜粋）：
基体と、この基体の表面に形成されたセンサ膜と、前記基体の裏面側に配設された発光素子および受光素子とを有し、前記発光素子から前記センサ膜に光を照射し、雰囲気中の被検化学物質量に応じた前記センサ膜の光反射率変化を前記受光素子によって検出することにより、被検化学物質を検知、定量するように構成されており、前記基体の少なくとも側面が反射膜で覆われていることを特徴とする化学物質センサ。
IPC (3件)：
G01N 21/77
, G01N 21/55
, G01N 21/81
