特許

J-GLOBAL ID：200903034160379976

透過電子顕微鏡による試料観察方法

発明者： 長沖 功
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-309710
公開番号（公開出願番号）：特開2004-146192
出願日： 2002年10月24日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】非点量を自動的に検出し、検出した非点量に基づいて非点を自動的に補正する。【解決手段】光軸に対して所定角度傾斜した電子線を複数の異なる方位角方向から試料に照射して複数の試料透過電子像を撮像し(S12)、試料透過電子像間の移動量を求め(S13)、次に、試料透過電子像の移動軌跡によって形成される楕円をそれと同じ面積の真円とするために必要な非点補正機構の制御量を求め、求めた制御量によって非点補正機構を制御する(S14)。【選択図】 図9

請求項（抜粋）：

非点補正機構を備える透過電子顕微鏡による試料観察方法において、 光軸に対して所定角度傾斜した電子線を複数の異なる方位角方向から試料に照射し、複数の試料透過電子像を撮像するステップと、 試料透過電子像間の移動量を求め、前記複数の試料透過電子像の移動軌跡によって形成される楕円を求めるステップと、 前記複数の試料透過電子像の移動軌跡を前記楕円と同じ面積の真円とするために必要な前記非点補正機構の制御量を求めるステップと、 求めた制御量によって前記非点補正機構を制御するステップとを含むことを特徴とする試料観察方法。

IPC (4件)：

H01J37/153 ,  H01J37/141 ,  H01J37/21 ,  H01J37/22

FI (4件)：

H01J37/153 A ,  H01J37/141 Z ,  H01J37/21 A ,  H01J37/22 502H

Fターム (4件)：

5C033DD03 ,  5C033HH01 ,  5C033HH03 ,  5C033LL01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭57-111936
  
• 特開昭61-237354
  
• 電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-138242   出願人：株式会社日立製作所
• 画像間位置ずれ解析法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-148932   出願人：株式会社日立製作所