特許

J-GLOBAL ID：200903034170180884

測定データ表示装置

発明者： 大西 雅美 ,  岩倉 裕幸 ,  浦辺 俊光
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-293246
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118528
出願日： 1997年10月09日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 グラフ表示によって測定データについての概要を容易に把握させるとともに、所望のデータ数値を表示することによってその内容を正確に把握させて、オペレータにより基板処理装置の動作状態を正確に監視させる。【解決手段】 測定データ表示装置では、記憶手段12が測定データを測定時間をキーとして格納しており、表示制御手段13は当該記憶手段12に格納された測定データを時間軸を基準としてディスプレイ画面14にグラフ表示する。そして、入力手段16からグラフ中の位置が指定されると、この指示位置から対応する測定時間のデータ数値を記憶手段12から検索手段13が検索し、表示制御手段15がこの検索された測定データの数値をディスプレイ画面14に表示出力する。したがって、オペレータは例えばグラフ中の変化が大きい位置を指示するだけで、当該時点での正確なデータ数値を把握することができる。

請求項（抜粋）：

基板処理装置から測定されたデータをディスプレイ画面に表示出力する測定データ表示装置であって、ディスプレイ画面に対するオペレータからの指示入力を受け付ける入力手段と、測定データをディスプレイ画面にグラフ表示するとともに、入力手段から受け付けた当該グラフ中の指示位置に対応する当該測定データの数値を当該ディスプレイ画面に表示出力する表示制御手段と、を備えたことを特徴とする測定データ表示装置。

IPC (6件)：

G01D 7/00 301 ,  G05B 23/02 301 ,  G09G 5/00 510 ,  G09G 5/36 510 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

G01D 7/00 301 M ,  G05B 23/02 301 Q ,  G09G 5/00 510 C ,  G09G 5/36 510 A ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/68 A