誘電体材料用アルミナセラミックス及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮越典明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-100359
公開番号（公開出願番号）：特開平6-293558
出願日： 1993年04月03日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：

【要約】【目的】例えば静電チャックやセラミックスコンデンサーなど、物質の誘電的性質を利用する製品用素材に好適な誘電体材料用アルミナセラミックス及びその製造方法を提供すること。【構成】アルミナセラミックスに対し比誘電率を向上させる目的で、アルミナにペロブスカイト型チタン酸塩(CaTiO3、SrTiO3、BaTiO3等)を微量(外割で1〜5モル部)添加し、さらに、誘電損失の増加を防止するため及びアルミナの粒成長を抑制するため、3価の希土類元素の酸化物(Y2O3、)Nd2O3等)を微量(外割で0.1〜0.3モル部)添加し、焼成してなる誘電体材料用アルミナセラミックス。【効果】本発明のアルミナセラミックスは、比誘電率が向上するにもかかわらず、誘電損失の増加がみられない特性を有する誘電材料が得られる。

請求項（抜粋）：

アルミナ100部、1種以上のペロブスカイト型チタン酸塩1〜5モル部(外割)及び3価の遷移金属酸化物0.1〜0.3モル部(外割)を焼成してなることを特徴とする誘電体材料用アルミナセラミックス。

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