特許
J-GLOBAL ID：200903034188472750
流体素子または流体制御器と、その製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-173973
公開番号（公開出願番号）：特開平8-035506
出願日： 1994年07月26日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】安価な金属材料を用いて高い寸法精度と幾何学的形状精度を有し、かつ高信頼性の接合部を持つ、小型、高精度の流体素子または流体制御器と、その製造方法を提供する。【構成】この流体素子または流体制御器1は、貫通孔および/または未通孔からなる流路5を板面に対して実質的に垂直に形成した金属板2..を複数枚、拡散接合またはろう接により積層接合してなるものであり、その製造方法は複数の金属板2..をプレス加工して貫通孔および/または未通孔からなる流路5を形成し、それぞれの表面を砥粒加工した後、拡散接合またはろう接により各金属板を積層接合するものである。
請求項（抜粋）：
貫通孔および/または未通孔からなる流体干渉領域または流路を板面に対して実質的に垂直に形成した金属板を複数枚、拡散接合またはろう接により積層接合してなる流体素子または流体制御器。
IPC (3件)：
F15C 5/00
, B23K 20/00 310
, F15C 1/10
