特許
J-GLOBAL ID：200903034192881266
波長分波光検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
白水 常雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-285502
公開番号（公開出願番号）：特開平5-100255
出願日： 1991年10月07日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 周波数多重で光伝送されている光を分波してそれぞれの波長の光を光検出する機能を持ち、かつ、各々の光検出器に適合する光波長を微調整することができる機能を持ち、モノリシックに一体化された波長分波光検出器を提供する。【構成】 スラブ導波上と基板裏面に電極を設け、スラブ導波路に電圧を印加でき、かつスラブ導波路の一端面に円弧状の垂直回折格子が形成してあり、かつスラブ導波路の他端面に、複数個の受光側導波路を設け、かつこの受光側導波路の端部に光検出器が設けてあるか、あるいはスラブ導波路の他端面に、直接複数個の光検出器を設けてあり、かつ該回折格子の溝の方向が、前記スラブ導波路の基板に垂直である。また、導波路と光検出器又は光検出器相互が、エッチング溝もしくは絶縁層のバット接合により、電気的に分離してある。
請求項（抜粋）：
スラブ導波路上と基板裏面に電極を備え、該スラブ導波路の一端面に円弧状の垂直回折格子が形成され、かつ該スラブ導波路の他端面に複数個の受光側導波路を備えるとともに該受光側導波路の端部に光検出器が設けられるか又は前記スラブ導波路の他端面に直接複数個の光検出器が設けられ、さらに前記回折格子の溝の方向が前記スラブ導波路の基板に垂直であり、前記導波路と光検出器又は複数の光検出器相互がエッチング溝もしくは絶縁層のバット接合により電気的に分離してあり、前記円弧状の垂直回折効果がローランド円上にあり、かつ、前記受光側導波路あるいは前記光検出器の入射部が1/2ローランド円上にあるように構成され波長分波光検出器。
IPC (3件)：
G02F 1/25
, G02B 6/28
, G02F 1/025
