特許

J-GLOBAL ID：200903034193157260

振動アクチュエータ

発明者： 松本 豪
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-126587
公開番号（公開出願番号）：特開平10-323061
出願日： 1997年05月16日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 相対運動部材と支持機構との間の遊びを防止する。【解決手段】 平板状又は柱状の弾性体に縦振動と屈曲振動とを励振し、前記弾性体の所定位置に設けられた駆動力取出部に楕円運動を発生させる振動子(11)と、前記弾性体に略平行に配置された相対運動部材(21)を前記振動子と反対の側から支持部(32)により支持する支持機構(31)とを備え、前記駆動力取出部を前記相対運動部材に接触させることにより前記相対運動部材と相対運動を行う振動アクチュエータにおいて、前記支持機構は、前記支持部を弾性的に保持している。

請求項（抜粋）：

平板状又は柱状の弾性体に縦振動と屈曲振動とを励振し、前記弾性体の所定位置に設けられた駆動力取出部に楕円運動を発生させる振動子と、前記弾性体に略平行に配置された相対運動部材を前記振動子と反対の側から支持部により支持する支持機構とを備え、前記駆動力取出部を前記相対運動部材に接触させることにより前記相対運動部材と相対運動を行う振動アクチュエータにおいて、前記支持機構は、前記支持部を弾性的に保持していることを特徴とする振動アクチュエータ。