ウエーハ検査装置および検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-290109
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135287
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】欠陥の有無を短時間で高精度に検査でき疑似欠陥の発生を防止できるウエーハ検査装置と検査方法を提供する。【解決手段】ウエーハ検査装置は、検査対象であるウエーハ(6)の原画像(11)を得るための画像化手段(2)と、この原画像において濃淡あるいは異なる色として識別される領域の輪郭線を抽出し、原画像を輪郭線の集合として表す輪郭線画像(21)を得るための輪郭化手段(3)と、輪郭線画像を同一面積を有する複数のピクセル(15、16)に分割して各々のピクセルのグレイレベルを求めるグレイレベル化手段(4)と、各々のピクセルのグレイレベルと他のピクセルとのグレイレベルと比較しグレイレベル差を求めこのグレイレベル差を所定の閾値と比較するグレイレベル比較手段(5)とを備えている。

請求項（抜粋）：

検査対象であるウエーハの原画像を得るための画像化手段と、この原画像において濃淡あるいは異なる色として識別される領域の輪郭線を抽出し、前記原画像を前記輪郭線の集合として表す輪郭線画像を得るための輪郭化手段と、前記輪郭線画像を同一面積を有する複数のピクセルに分割して各々の前記ピクセルのグレイレベルを求めるグレイレベル化手段と、各々の前記ピクセルのグレイレベルと他のピクセルのグレイレベルとを比較しグレイレベル差を求めこのグレイレベル差を所定の閾値と比較するグレイレベル比較手段とを備えることを特徴とするウエーハ検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01B 11/24 , G01N 21/88

FI (3件)：

H01L 21/66 J , G01B 11/24 K , G01N 21/88 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

パターン検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-222567 出願人：ソニー株式会社
特開平3-232250

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