特許
J-GLOBAL ID：200903034197012339
透過電子顕微鏡用薄膜試料の作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-226615
公開番号（公開出願番号）：特開平10-068683
出願日： 1996年08月28日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：
【要約】【課題】 エネルギー分散型X線回折に適した透過型電子顕微鏡用薄膜試料の作製方法を提案する。【解決手段】 予め所定厚さ以下に粗研磨した試料に集束イオンビームを照射して、観察箇所周辺部を除去したのち、集束イオンビームにより観察領域を薄膜化する。
請求項（抜粋）：
予め所定の厚さ以下に粗研磨した試料に、集束イオンビームを照射して所定の箇所周辺部を除去したのち、集束イオンビームを用いて所定の箇所を薄膜化することを特徴とする透過電子顕微鏡用薄膜試料の作製方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 1/28 G
, G01N 1/32 B
, G01N 1/28 F
