特許
J-GLOBAL ID：200903034198553902
位置合せ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-080114
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265824
出願日： 1993年03月15日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】周波数の異なる2本の光ビームを回折格子に対して、容易に、かつ精度の高い対称関係に入射させることができる光ヘテロダイン式の位置合せ装置を提供する。【構成】周波数の異なる2本の光ビーム5,6を光軸14と平行に出射させる手段と、この手段によって出射された各光ビーム5,6を光軸14を中心とする対称位置線上に位置合せする非対称修正手段15,17と、この手段によって位置修正された各光ビーム5,6を光軸14と直交する方向に反射案内する一対の案内手段21,22と、光軸14と平行する方向に移動可能に設けられたステージ25と、このステージ25によって支持され、案内手段21,22で反射案内された各光ビーム5,6を光軸14を中心とする対称関係を保って対物レンズ13に入射させる1つの台形プリズム23とを備えている。
請求項（抜粋）：
対向配置された第1の物体と第2の物体との相対位置合せを行うために、上記第1の物体と上記第2の物体とに対向関係に回折格子を設けるとともに、1つの光源から出た光ビームを2分割し、これらを変調して得られた周波数の異なる2本の光ビームを対物レンズ系を介して上記第1の物体に設けられた回折格子に対して上記対物レンズ系の光軸を境にして左右対称に定められた入射角度で照射し、この照射によって得られた回折光のうちの特定次数の回折光を位置情報として用いるようにした光ヘテロダイン式の位置合せ装置において、前記周波数の異なる2本の光ビームを平行に出射させる手段と、この手段によって出射された各光ビームを前記光軸を中心とする対称位置線上に位置合せする非対称修正手段と、この手段によって位置修正された前記各光ビームを前記光軸と直交する方向に反射案内する一対の案内手段と、前記光軸と平行する方向に移動可能に設けられたステージと、このステージによって支持され、前記一対の案内手段で反射案内された各光ビームを前記光軸を中心とする対称関係を保って前記対物レンズ系に入射させる1つの台形プリズムとを具備してなることを特徴とする位置合せ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 311 H
, H01L 21/30 331 J
