特許

J-GLOBAL ID：200903034199906094

真空成膜処理物の支持具

発明者： 土本 正博
出願人/特許権者： 神港精機株式会社
代理人 (1件)： 田中 浩 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-177356
公開番号（公開出願番号）：特開平5-339728
出願日： 1992年06月10日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：

【要約】【目的】 高温や蒸着材粉による悪影響を受けない構成のもの。【構成】 処理物1の一部が嵌入する内孔16を備えた筒状部12aを有しその筒状部の周壁を貫通する軸方向に長いスリット17を設けた支持具本体12と、その支持具本体の筒状部の外周を覆うように嵌合する筒状に形成され本体に固定されたカバー13と、上記支持具本体の筒状部の外周と上記カバーとの間に形成された保持部19に保持された基部14aを有しその基部から上記スリット内に伸延しスリット内に伸延した部分14bの途中が上記内孔側へ凸に湾曲して内孔に突出するように形成されたばね部材14とからなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

処理物の一部が嵌入する内孔を備えた筒状部を有しその筒状部の周壁を貫通する軸方向に長いスリットを設けた支持具本体と、その支持具本体の筒状部の外周を覆うように嵌合する筒状に形成され本体に固定されたカバーと、上記支持具本体の筒状部の外周と上記カバーとの間に形成された保持部に保持された基部を有しその基部から上記スリット内に伸延しスリット内に伸延した部分の途中が上記内孔側へ凸に湾曲して内孔に突出するように形成されたばね部材とからなることを特徴とする真空成膜処理物の支持具。