異物検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西山春之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-046414
公開番号（公開出願番号）：特開平5-215690
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：

【要約】【目的】異物検査装置において、検査対象物に対する後方散乱光受光部の受光範囲を拡大して異物の検出率を高める。【構成】後方散乱光受光部5a〜5dを、検査対象物1の表面に対する光ビーム3の照射位置を中心としてその両側方に所定の角度間隔で複数箇所に配置する。これにより、投光部からの光ビーム3の照射によって上記検査対象物1上の異物から発生する後方散乱光を幅広い範囲で受光し、検査対象物1上の異物の検出率を高めることができる。

請求項（抜粋）：

検査対象物を位置決めして保持すると共に所定方向へ移動する保持テーブルと、上記検査対象物の表面に光ビームを照射する投光部と、上記検査対象物に対して光ビームの照射側にあって該検査対象物上の異物からの後方散乱光を入射する光ファイバを備えた後方散乱光受光部と、上記光ビームの透過側にあって該検査対象物上の異物からの前方散乱光を入射する光ファイバを備えた前方散乱光受光部とを有し、上記投光部からの光ビームを検査対象物の表面に走査して照射し、その検査対象物の表面の異物からの散乱光を上記後方散乱光受光部及び前方散乱光受光部で受光して検出することにより異物の検査を行う異物検査装置において、上記後方散乱光受光部を、検査対象物の表面に対する光ビームの照射位置を中心としてその両側方に所定の角度間隔で複数箇所に配置したことを特徴とする異物検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , G03F 1/08

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭57-012351
特開昭58-062543
特開昭59-000934

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