特許

J-GLOBAL ID：200903034214400879

走査型プローブ顕微鏡

発明者： 岡田 孝夫 ,  守田 和広
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-236560
公開番号（公開出願番号）：特開平5-071949
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【目的】透明な試料に対しても探針の位置決めが行なえる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】光源12は円筒状のランプハウス14の上端部に取り付けられている。ランプハウス14の下端部には二枚のコンデンサーレンズ16と18が設けられている。コンデンサーレンズ16は中央部に開口部を有し、この開口部には取付け台19を介して円筒型圧電アクチュエーター20が固着されている。円筒型圧電アクチュエーター20の自由端部は探針22を有し、コンデンサーレンズ18の中央部の開口から延出している。探針22の下方には試料24を載せる透明な試料台26が配置され、その下方に散乱光を受ける対物レンズ28が配置される。そして、対物レンズ28に入射した光は結像レンズ34で結像される。

請求項（抜粋）：

探針を用いて試料の表面を観察する走査型プローブ顕微鏡であって、照明光を射出する光源と、照明光を試料の表面に集光する手段と、試料からの散乱光を結像する手段とを有する、試料の表面を光学的に観察する観察光学系と、試料に対向して光軸方向に平行に保持された探針と、試料と探針とを相対的に三次元駆動するアクチュエーターとを備えている走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01B 21/30 ,  G01B 7/34 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-018702
  
• 特開平3-199904
  
• 特開平3-205502
  
• 特開平2-016403