特許
J-GLOBAL ID：200903034224786090
基板吸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 河野 哲
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2003001645
公開番号（公開出願番号）：WO2003-071599
出願日： 2003年02月17日
公開日（公表日）： 2003年08月28日
要約：
上下移動可能なパッド(44)と、エアー排気による負圧により伸縮してパッドを上下移動させる弾性部材(43)とを有する各矯正用パッド(33〜35)を全面吸着部(6)の最外周縁部に沿って設けた。
請求項（抜粋）：
基板の平面度を保って吸着保持する全面吸着部と、
前記全面吸着部の中央部に形成された孔部内に昇降可能に設けられ、前記基板を吸着保持して前記孔部内で昇降することにより前記基板を前記全面吸着部に対して受け渡しする基板受渡し部と、
前記全面吸着部上における前記基板の外周縁部に対応する位置に複数設けられ、前記全面吸着部の吸着面に対して出没するように弾性部材で支持されたパッドを有し、前記パッドが前記基板に対して吸着すると負圧により前記弾性部材を下方に移動して前記基板を平面に矯正する矯正用パッド部と、
を具備したことを特徴とする基板吸着装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 P
, B25J15/06 M
