特許
J-GLOBAL ID：200903034230860928
窒化アルミニウム質焼結体およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-131705
公開番号（公開出願番号）：特開平8-325060
出願日： 1995年05月30日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：
【要約】【構成】窒化アルミニウム結晶相を主相とし、Lu、あるいはLuとLu以外の周期律表第3a族元素のうちの1種以上と、不純物的酸素を含む焼結体であって、前記周期律表第3a族元素が酸化物換算で0.3〜3モル%の割合で含有され、かつ前記周期律表第3a族元素の酸化物換算量(RE2 O3 )の前記不純物的酸素のAl2 O3 換算量に対するモル比(RE2 O3 /Al2 O3 )が0.6を越えるように調整し、特に、焼結体の粒界をRE4 Al2 O9 またはREAlO3 の結晶を主結晶相として構成する。【効果】熱伝導率が高く、特に電子部品や半導体素子を搭載する絶縁性基板材料をはじめ、各種の高熱伝導性が要求される各種の部材に適用する。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウム結晶相を主相とし、Lu、あるいはLuとLu以外の周期律表第3a族元素のうちの1種以上との組み合わせと、不純物的酸素を含む焼結体であって、前記周期律表第3a族元素が酸化物換算で0.3〜3モル%の割合で含有され、かつ前記周期律表第3a族元素(RE)の酸化物換算量(RE2 O3 )の前記不純物的酸素のAl2 O3 換算量に対するモル比(RE2O3 /Al2 O3 )が0.6を越えることを特徴とする窒化アルミニウム質焼結体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B 35/58 104 B
, H01L 23/14 S
